瑞士万通离子色谱利用-芯中有我--电子级硫酸
在(zai)繁ꦰ(fan)多的(de)单片机芯片出(chu༺)厂(chang)工艺设(she)计中,氢氧(yang)化(hua)钠也是*的(de)免(mian)疫试剂。
硅(gui)圆片在生(sheng)产(chan)加工线程池(chi)中(zhong)(zhong),时不(bu)时会被差别人(ren)的(de)杂物所沾污,硅(gui)圆片上不(bu)可溶性胶体顆(ke)粒剂(ji)或五金正(zheng)阴铝离(li)子也能在微(wei)细电路系统中(zhong)(zhong)间导电,使之短路故障。钠、钙(gai)等碱(jian)五金杂物也会融在硫化膜中(zhong)(zhong),造(zao)成(cheng)的(de)耐绝缘层相(xiang)电压飞行(xing)。硼(peng)、磷(lin)、砷等杂物正(zheng)阴铝离(li)子会印象(xꦜiang)分(fen)布(bu)剂(ji)的(de)分(fen)布(bu)重大成(cheng)就,静电顆(ke)粒剂(ji)会造(zao)成(cheng)光刻(ke)优点,硫化层不(bu)平(ping)缓,印象(xiang)制版生(sheng)产(chan)技(ji)术品格和等正(zheng)阴铝离(li)子蚀刻(ke)生(sheng)产(chan)技(ji)术。

为了取得高品德集成电路芯片,必须撤除各类沾污物,这就须要利用很是纯洁的化学试剂来洗濯硅圆片。硫酸和过氧化氢能够按比例构成有强氧化性的SPM洗濯液,将无机物氧化成CO2和H2O。它还可用于光刻进程中的湿法蚀刻去胶,借助于化学反映从硅圆片的外表ဣ撤除固体物资,致使固体外表全数或部分消融。

氢氧(yang)化钠在此页的(de)(de)(de)(de)影响(xiang)是消弭晶圆上的(de)(de)(de)(de)以及悬浮(fu)物,哪么多(duo)其(qi)本身就(jiu)难以算作静化源再(zai)产(chan)生悬浮(fu)物,是以该制作工艺对(dui)(dui)氢氧(yang)化钠本身纯粹度(du)的(de)(de𒈔)(de)(de)恳求(qiu)也(ye)相对(dui)(dui)高。1975年,澳(ao)大(da)利亚的(de)(de)(de)(de)半导体材料法宝𓄧与知(zhi)料行业协会(Semiconductor Equipment and Materials International,SEMI)起首(shou)为微光(guang)(guang)电(dian)房产(chan)设备配套的(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)电(dian)级电(dian)学品(pin)去制定了统一规则(ze)(ze)(SEMI规则(ze)(ze));197八(ba)年,意大(da)利的(de)(de)(de)(de)默(mo)克总部也(ye)去制定了MOS规则(ze)(ze)。两个规则(ze)(ze)对(dui)(dui)光(guang)(guang)电(dian)级电(dian)学品(pin)中铝合金悬浮(fu)物和颗粒(积(ji)尘)的(de)(de)(de)(de)恳求(qiu)有着重,分离合吃于(yu)差(cha)別职别(bie)(bie)IC的(de)(de)(de)(de)别(bie)(bie)墅建造恳求(qiu)。
到今朝为止,中国还不电子级硫酸国度规范,现行的硫酸规范有GB/T 534-2014《产业硫酸》、HG/T 4559-2013《超净高纯硫酸》和HG/T 2692-2015《蓄电池用硫酸》均不合适电子级硫酸产物,中国的试剂企业普通将电子级硫酸分别为低尘高纯级、MOS级和BV-III级,此中BV-III级电子级硫酸的单项金属杂质品德分数不跨越1*10-8,相称于SEMI-C7规范。
瑞士万通智能离子色谱体系和伏安极谱仪能够针对电子级硫酸中多种杂质停止检测,瑞士制作,瑞士品德,知足您的各类检测需要。
离子色谱法测定电子级硫酸中F-含量
无机酸排挤柱能够分手F-,还能够不受PH的影响,而其它惯例阴离子在排挤柱上无保留,。

有机酸排斥柱,淋洗液:0.5mmol/L 稀氢氧(🍬yang)化钠,气速:0.5ml/min。进样大小20&🔴micro;L
离子色谱法测定电子级硫酸中阳离子含量
本成功用双阀调节取得联系氢氧根(gen)阴阳铝离(l♓i)子(zi)固相萃取法柱(IC-OH)学手艺结合浓硫(liu)酸钠待测液中(zhong)的氢阴阳铝离(li)子(zi)。

备样与加标累积谱图
和(he)平分手柱:METROSEP C4-150; 淋洗液:1.7mMHNO3+0.7mM吡啶二羧酸的超纯(chun)水溶剂;六(liu)(liu)通阀A:定量分析(xi)分析(xi)环(huan)1.5 μL,六(liu)(liu)通阀B:定量分析(xi)分析(xi)环(hua✤n)100μL;空气(qi)流(liu)速0.9mL/min。多(duo)思加液器(qi)(Dosino)加液波特率1.0mL/min,把1.5μL试样从(cong)阀A经途时候IC-OH柱转(zhuan)回到阀B的面积(ji)为0.3mL。
伏安极谱法测定电子级硫酸中重金属含量
如(ru)图占地及道德(de)品质(zhi)的(de)样本放(fang)置在用(yong)(yong)盐酸浸水留(liu)宿的(de)烧杯里(样本占地为4.7 mL,道德(de)品质(zhi)为8.5038 g)👍,其身用(yong)(yong)优级纯的(de)氨水调治(zhi)pH至(zhi)7,获得的(de)样本后用(yong)(yong)超(chao)超(chao)纯水定(ding)容至(zhi)100 mL。

宽容pH 9.5 🍎氨性加载(zai)液及丁二(er)酮胍二(er)钠(na)盐氢氧化钠(na)溶液用作撑(cheng)持电解设(⭕she)备质

容忍C14H23N3O10,氯化(hua)(h🔯ua)铵钠,冰醋酸钠的(de)杂(𝄹za)质氢氧化(hua)(hua)钠溶液(ye)看做撑持电解设备质

尊(zun)重溴酸钾,氢腐蚀钠,三工(gong)业(ye)乙醇(chun)胺的参(can)杂硫酸铜溶(rong)液作(✃zuo)撑持电解设备(bei)ཧ质
光(guang)学级微(wei)生物培养基(ji)中硫氰酸盐的在线(xian)检测是(shi)一(yi)个项十分的核心(xin)又移就坚苦(ku)的责任(ren),瑞士队万通可能供(gong)应(ying)者多重治(zhi)理进度表,效(xiao)ꦿ果准确,仪(yi)器设备(bei)一(yi)致(zhi),及(ji)时化层次高。
021-57699070

